Des scientifiques du CEMES/CNRS, Leti/CEA et STMIcroelectronics ont écrit et édité un livre présentant de façon simple et pratique les nouvelles techniques quantitatives de Microscopie Electronique en Transmission devant permettre aux scientifiques et ingénieurs procédés de développer et/ou optimiser les dispositifs à semiconducteurs.
Pour en savoir plus :
http://www.iste.co.uk/index.php?f=a&ACTION=View&id=529